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EUVL
Extrem-Ultraviolett-Lithographie.
Technik in der Fertigung von integrierten Halbleitern (bspw. Computerchips) unter Verwendung von extremen ultravioletten Licht.
siehe auch:
- Halbleiter
- Mikrochip
Extrem-Ultraviolett-Lithographie.
Technik in der Fertigung von integrierten Halbleitern (bspw. Computerchips) unter Verwendung von extremen ultravioletten Licht.
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